Anlage zur Herstellung von Hochleistungsoptiken wird gefördert

Freuen sich über zwölf Millionen Euro für eine neue Lithographieanlage am Fraunhofer IOF (v.l.): Prof. Dr. Walter Rosenthal (FSU Jena), Staatssekretar Carsten Feller, Prof. Dr. Uwe Zeitner (Fraunhofer IOF) und Prof. Dr. Stefan Sinzinger (TU Ilmenau)

Die Anlage wird herausragende Grundlagenforschung auf dem Gebiet der Quantentechnologien ermöglichen. Auch Optiken zum Beispiel zur Beobachtung des Klimawandels sind damit realisierbar. „Die Anlage zur Elektronenstrahllithographie sichert dem Standort Thüringen ein weltweites Allein stellungsmerkmal in der Herstellung nano- und mikrooptischer Komponenten“, betonte Wissenschaftsstaatssekretär Carsten Feller anlässlich seines Besuches und der Übergabe des Förderbescheids.

Wenn in den Laboren des Fraunhofer IOF heute zu Quantentechnologien geforscht wird, dann braucht es einiges an Platz. Für eine Kommerzialisierung der Quantentechnologien und ihre praktische Anwendung im Alltag ist das zu groß. Eine Verkleinerung umfangreicher Laboraufbauten, etwa auf die Größe eines Chips, ist daher unumgänglich. Die sogenannte „Elektronenstrahllithographie“ ist ein Verfahren, mit der eine solche Miniaturisierung vorgenommen werden kann. Über die Anwendungen im Bereichen Quantentechnologien hinaus wird mit der Anlage aber auch eine deutlich leistungsfähigere Generation von Hochleistungsoptiken beispielsweise für die weltraumgestützte Erdbeobachtung oder der Spektroskopie wie in der Lebensmittel- oder Schadstoffanalyse möglich. Die Anlage soll ab 2023 in Betrieb gehen und dann auch für gemeinsame Forschung mit dem Institut für Angewandte Physik (IAP) der Friedrich-Schiller-Universität Jena und dem Leibniz-Institut für Photonische Technologien (IPHT) genutzt werden. „Mit unserer neuen Anlage werden die Möglichkeiten des Fraunhofer IOF auf dem Gebiet der Mikro- und Nanostrukturerzeugung substanziell erweitert und der Vorstoß in völlig neue Bereiche der Strukturierungsgenauigkeit, -auflösung, -geschwindigkeit und Komponentengröße ermöglicht“, erklärt Uwe Zeitner, verantwortlich für Investitionen und Infrastruktur am Fraunhofer IOF.

„Das ist ein weiterer Meilenstein für die Erforschung und Entwicklung von Quantentechnologien und damit für die Positionierung Thüringens als Vorreiter in diesem Bereich in Deutschland und der EU“, betont auch Feller. „Bereits seit mehreren Jahren unterstützt das Land das IOF im Aufbau von Infrastrukturen zur Quantenforschung und von Lösungsansätzen für die Industrie. Anwendungen wie Quantencomputer oder Analyse- und Messtechnik mit Quanten stellen konventionelle Systeme weit in den Schatten.“

Die Anschaffung der Anlage setzt damit die Impulse jüngster Investitionen im Bereich Quantenforschung fort: Auch der sich derzeit im Bau befindende Forschungsneubau des Fraunhofer IOF wird neuen Raum für das Thema Quanten bieten. In dem mehr als 2.000 Quadratmeter umfassenden Neubau wird auch die neue Lithographieanlage beheimatet sein. Die Kosten von 23 Millionen Euro für den Erweiterungsbau werden je zur Hälfte von Bund und Land getragen.

Dank des Fraunhofer IOF ist Thüringen einer der bundesweit führenden Standorte im Bereich der Quantentechnologien und der Quantenkommunikation. Das Institut arbeitet in einer Vielzahl von Projekten zu hochsicherer Quantenkommunikation, Quantencomputern sowie quantenbasierten Bildgebungsverfahren. Einschließlich schon laufender Projekte fließen bis Ende 2024 allein vom Land rund 35 Millionen Euro Förderung in die Quantenforschung. Seit seiner Gründung im Jahr 1992 verzeichnet das Fraunhofer IOF ein stetiges Wachstum: Knapp 420 Menschen arbeiten derzeit daran, Licht als Werkzeug in Wirtschaft und Industrie nutzbar zu machen. Das IOF ist auch Mitglied im neu gegründeten Quantum Hub, einem Netzwerk aus elf Thüringer Einrichtungen, das Know-how im Bereich der Quantenforschung bündelt. (em/tl)